Preview

Российский технологический журнал

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Фещенко В.С., Зяблюк К.Н., Сенокосов Э.А., Чукита В.И., Киселев Д.А. Особенности получения пьезоэлектрических тонких пленок методом плазменного напыления из порошкообразного AlN. Российский технологический журнал. 2020;8(1):67-79. https://doi.org/10.32362/2500-316X-2020-8-1-67-79

For citation:


Feshchenko V.S., Zyablyuk K.N., Senokosov E.A., Chukita V.I., Kiselev D.A. Features of the receiving of piezoelectric thin films by plasma spraying of powdery AlN. Russian Technological Journal. 2020;8(1):67-79. (In Russ.) https://doi.org/10.32362/2500-316X-2020-8-1-67-79

Просмотров: 73


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2500-316X (Online)