Для цитирования:
Фещенко В.С., Зяблюк К.Н., Сенокосов Э.А., Чукита В.И., Киселев Д.А. Особенности получения пьезоэлектрических тонких пленок методом плазменного напыления из порошкообразного AlN. Russian Technological Journal. 2020;8(1):67-79. https://doi.org/10.32362/2500-316X-2020-8-1-67-79
For citation:
Feshchenko V.S., Zyablyuk K.N., Senokosov E.A., Chukita V.I., Kiselev D.A. Features of the receiving of piezoelectric thin films by plasma spraying of powdery AlN. Russian Technological Journal. 2020;8(1):67-79. (In Russ.) https://doi.org/10.32362/2500-316X-2020-8-1-67-79
Послать статью по эл. почте 