Для цитирования:

Лапин Д.Г., Овчинников И.С. МОДЕЛЬ ЛОКАЛЬНОГО ИОННО-ЛУЧЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛАТИНЫ СФОКУСИРОВАННЫМ ПУЧКОМ ИОНОВ. Russian Technological Journal. 2017;5(6):34-42. https://doi.org/10.32362/2500-316X-2017-5-6-34-42

For citation:

Lapin D.G., Ovchinnikov I.S. МОДЕЛЬ ЛОКАЛЬНОГО ИОННО-ЛУЧЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛАТИНЫ СФОКУСИРОВАННЫМ ПУЧКОМ ИОНОВ. Russian Technological Journal. 2017;5(6):34-42. (In Russ.) https://doi.org/10.32362/2500-316X-2017-5-6-34-42