ИЗМЕРЕНИЕ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТОВ ГЕТЕРОДИННЫМ МЕТОДОМ
Аннотация
В статье рассмотрены вопросы измерения перемещения объектов гетеродинным методом. Установлено, что интерференционные методы обладают наивысшей точностью измерений. Определено, что большинство указанных методов основано на подсчете числа интерференционных полос при смещении объекта, что не позволяет разрешать неоднозначность в положении объекта, а интерференционные методы, основанные на сдвиге частот интерферирующих пучков (гетеродинная интерферометрия) используются для абсолютных измерений положения объекта. Показано, что при реализации этих методов необходимы двухчастотные лазеры, достаточно сложные оптические и электронные системы, что значительно затрудняет их применение в измерительных устройствах. Предложен метод разрешения неоднозначности в определении положения объекта, в котором период интерференционной картины может быть равен диапазону измерения, позволяющий устранить указанные недостатки.
Об авторах
А. А. Титов
Московский технологический университет (МИРЭА)
Россия
Россия
В. К. Гарипов
Московский технологический университет (МИРЭА)
Россия
Россия
М. А. Костромин
Московский технологический университет (МИРЭА)
Россия
Россия
Список литературы
1. Ларкин А.И., Юу Ф.Т.С. Когерентная оптика. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. 316 с.
2. Пихтин А.Н. Оптическая и квантовая электроника. М.: Высшая школа, 2001. 573 с.
3. Евсеев И.В., Рубцова Н.Н., Самарцев В.В. Когерентные переходные процессы в оптике. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2009. 536 с.
4. Магурин В. Г., Тарлыков В. А. Когерентная оптика: учебное пособие по курсу «Когерентная и нелинейная оптика». СПб.: СПбГУ ИТМО, 2006. 122 с.
5. Титов А.А., Амурский В.Б., Гарипов В.К. Методы построения и расчета лазерных измерительных и запоминающих устройств. М.: Машиностроение, 2008. С. 7-23.
6. Риле Ф. Стандарты частоты. Принципы и приложения: пер. с англ. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2009. 512 с.
7. Гришин С.Г. Оценка фазовой погрешности в гетеродинных лазерных интерференционных измерительных системах // Измерительная техника. 2011. № 8. С. 11-13.
8. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Н. Новгород: Институт физики микроструктур РАН, 2004. 114 с.
9. Cosijns S.J.A.G. Displacement laser interferometry with sub-nanometer uncertainty. Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven, 2004. 189 p.
10. Leach R. Fundamental Principles of Engineering Nanometrology. Elsevier Inc., 2010. 352 p.
11. Разумовский И.А. Интерференционно-оптические методы механики деформируемого твердого тела. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007. 240 с.
12. Нагибина И.М., Москалев В.А., Н.А. Полушкина, В.Л. Рудин. Прикладная физическая оптика. М.: Высшая школа, 2002. 568 с.
Для цитирования:
Титов А.А., Гарипов В.К., Костромин М.А. ИЗМЕРЕНИЕ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТОВ ГЕТЕРОДИННЫМ МЕТОДОМ. Российский технологический журнал. 2016;4(1):42-52. https://doi.org/10.32362/2500-316X-2016-4-1-42-52
For citation:
Titov A.A., Garipov V.K., Kostromin M.A. MEASUREMENT OF MOVEMENT OF OBJECTS BY THE HETERODYNE METHOD. Russian Technological Journal. 2016;4(1):42-52. (In Russ.) https://doi.org/10.32362/2500-316X-2016-4-1-42-52
Просмотров: 51
Послать статью по эл. почте 