ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ В РОССИИ

Аннотация

Работа посвящена развитию высокоэффективных технологий прецизионного раскроя хрупких неметаллических материалов на основе метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ), который получает в последнее время все большее распространение и признание во всем мире. Приведены некоторые примеры решения высокотехнологичных задач с использованием метода ЛУТ на российской промышленной установке МЛП1-1060/355 для прецизионной резки подложек из сапфира и других хрупких неметаллических материалов. В работе проведен анализ преимуществ метода ЛУТ по сравнению с распространенным в настоящее время способом резки - скрайбированием пикосекундным лазером. Наглядно продемонстрированы практические результаты таких работ как: резка сапфировых приборных пластин на кристаллы; разделение сапфировых подложек на элементы, критичные к внешним воздействиям; резка кремниевых приборных пластин с ОСИД структурами; резка узких сапфировых подложек для светодиодных ламп нового поколения; резка трубок круглого сечения и дисков различного диаметра; резка трубок квадратного сечения и квадратных элементов из боросиликатного стекла; разработка технологии создания сеток на поверхности оптических элементов. Приведенные в работе результаты исследований свидетельствуют об успешном использовании российской технологии ЛУТ для решения высокотехнологичных задач резки пластин из хрупких неметаллических материалов, таких как сапфир, стекло и кремний на промышленной установке отечественного производства.