Preview

Российский технологический журнал

Расширенный поиск

ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ В РОССИИ

https://doi.org/10.32362/2500-316X-2017-5-1-3-14

Полный текст:

Аннотация

Работа посвящена развитию высокоэффективных технологий прецизионного раскроя хрупких неметаллических материалов на основе метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ), который получает в последнее время все большее распространение и признание во всем мире. Приведены некоторые примеры решения высокотехнологичных задач с использованием метода ЛУТ на российской промышленной установке МЛП1-1060/355 для прецизионной резки подложек из сапфира и других хрупких неметаллических материалов. В работе проведен анализ преимуществ метода ЛУТ по сравнению с распространенным в настоящее время способом резки - скрайбированием пикосекундным лазером. Наглядно продемонстрированы практические результаты таких работ как: резка сапфировых приборных пластин на кристаллы; разделение сапфировых подложек на элементы, критичные к внешним воздействиям; резка кремниевых приборных пластин с ОСИД структурами; резка узких сапфировых подложек для светодиодных ламп нового поколения; резка трубок круглого сечения и дисков различного диаметра; резка трубок квадратного сечения и квадратных элементов из боросиликатного стекла; разработка технологии создания сеток на поверхности оптических элементов. Приведенные в работе результаты исследований свидетельствуют об успешном использовании российской технологии ЛУТ для решения высокотехнологичных задач резки пластин из хрупких неметаллических материалов, таких как сапфир, стекло и кремний на промышленной установке отечественного производства.

Об авторах

В. С. Кондратенко
Физико-технологический институт, Московский технологический университет
Россия


А. С. Наумов
Компания Наноплюс Лтд
Россия


А. Ю. Рогов
Физико-технологический институт, Московский технологический университет
Россия


Список литературы

1. Кондратенко В.С. Способ резки хрупких материалов : патент РФ № 2024441, МКИ5 СО3 В 33/02. 1991.

2. Kondratenko V.S. Splitting of non-metallic materials : patent № WO9320015. 1993-10-14.

3. Кондратенко В.С., Наумов А.С. Развитие и внедрение технологий лазерного управляемого термораскалывания на международном рынке // Вестник МГТУ МИРЭА. 2015. Т. 2. № 3 (8). С. 1-11.

4. Kondratenko V., Gindin P., Tchernykh S. Laser controlled thermocracking die separation technique for sapphire substrate based devices // Phys. Stat. Sol. (c) 0. 2003. № 7. P. 2232-2235.

5. Кондратенко В.С., Зобов А.К., Наумов А.С., Лу Хунг-Ту. Технология прецизионной лазерной резки сапфировых пластин // Фотоника. 2015. № 2 (50). С. 42-52.

6. Грачев О.А., Иванов В.И., Кондрацкий Б.А., Усов Н.Н. и др. Исследование и разработка технологии создания активно-матричных микродисплеев на основе органических светодиодов (ОСИД) // Нанотехника. 2014. № 2 (38). C. 43-45.

7. Иванов В.И. Методы резки кремниевых приборных пластин на чипы в производстве органических микродисплеев // Интернет-журнал «Науковедение». 2014. № 4 (23). [Электронный ресурс] Науковедение, 2014 - Режим доступа: http://naukovedenie.ru/PDF/87TVN414.pdf, свободный. - Загл. с экрана. - Яз. рус., англ.

8. Кондратенко В.С., Борисовский В.Е., Иванов В.И., Зобов А.К. Повышение эффективности процесса лазерной резки кремниевых приборных пластин на кристаллы ОСИД // Приборы. 2015. № 9 (183). С. 49.

9. Кондратенко В.С., Наумов С.А., Сорокин А.В., Величанский В.Л., Севостьянов Д. Технология создания кюветы для сверхминиатюрных атомных часов / Приборы. 2012. № 12. С. 27-30.

10. Кондратенко В.С., Исай И.А. Лазерная технология изготовления сеток и шкал для оптических приборов // Вестник МГТУ МИРЭА. 2015. № 3 (8), т. 2. МИРЭА. С. 22-28.


Для цитирования:


Кондратенко В.С., Наумов А.С., Рогов А.Ю. ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ В РОССИИ. Российский технологический журнал. 2017;5(1):3-14. https://doi.org/10.32362/2500-316X-2017-5-1-3-14

For citation:


Kondratenko V.S., Naumov A.S., Rogov A.Yu. INTRODUCTION OF LASER TECHNOLOGY CONTROLLED THERMO-CRACKING IN RUSSIA. Russian Technological Journal. 2017;5(1):3-14. (In Russ.) https://doi.org/10.32362/2500-316X-2017-5-1-3-14

Просмотров: 75


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2500-316X (Online)