<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">mireabulletin</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Russian Technological Journal</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Russian Technological Journal</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">2782-3210</issn><issn pub-type="epub">2500-316X</issn><publisher><publisher-name>RTU MIREA</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id pub-id-type="doi">10.32362/2500-316X-2017-5-3-51-57</article-id><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">mireabulletin-62</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>К 70-ЛЕТИЮ МИРЭА</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>To the 70th anniversary of MIREA</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>ТОНКИЕ ПЛЕНКИ БИНАРНЫХ ХАЛЬКОГЕНИДОВ As2X3 (X = S, Se), ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ СПИН-КОАТИНГА</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>THIN FILMS OF BINARY CHALKOGENIDES As2X3 (X = S, Se) PREPARED BY SPIN COATING METHOD</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Тхи</surname><given-names>Х. Н.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Thi</surname><given-names>H. N.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Текшина</surname><given-names>Е. В.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Tekshina</surname><given-names>E. V.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Лазаренко</surname><given-names>П. И.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Lazarenko</surname><given-names>P. I.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Иванов</surname><given-names>В. К.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Ivanov</surname><given-names>V. K.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Козюхин</surname><given-names>С. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Kozyukhin</surname><given-names>S. A.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">sergkoz@igic.ras.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-4"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff-1"><aff xml:lang="ru"><institution>Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Московский педагогический государственный университет</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Kurnakov Institute of General and Inorganic Chemistry; State Pedagogical University</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-2"><aff xml:lang="ru"><institution>Московский институт электронной техники (МИЭТ)</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>National Research University of Electronic Technology</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-3"><aff xml:lang="ru"><institution>Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Московский технологический университет (Институт тонкой химической технологии)</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Kurnakov Institute of General and Inorganic Chemistry; Moscow Technological University (Institute of Fine Chemical Technologies)</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-4"><aff xml:lang="ru"><institution>Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Томский государственный университет</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Kurnakov Institute of General and Inorganic Chemistry; Tomsk State University</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><pub-date pub-type="collection"><year>2017</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>28</day><month>06</month><year>2017</year></pub-date><volume>5</volume><issue>3</issue><fpage>51</fpage><lpage>57</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Тхи Х.Н., Текшина Е.В., Лазаренко П.И., Иванов В.К., Козюхин С.А., 2017</copyright-statement><copyright-year>2017</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Тхи Х.Н., Текшина Е.В., Лазаренко П.И., Иванов В.К., Козюхин С.А.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Thi H.N., Tekshina E.V., Lazarenko P.I., Ivanov V.K., Kozyukhin S.A.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://www.rtj-mirea.ru/jour/article/view/62">https://www.rtj-mirea.ru/jour/article/view/62</self-uri><abstract><p>В работе описаны процессы получения растворов бинарных стеклообразных полупроводниковых материалов As2X3 (X = S, Se) и получения тонких пленок на их основе методом спин-коатинга. Исходные материалы синтезированы из реактивов полупроводниковой степени чистоты методом прямого синтеза в вакуумированных кварцевых ампулах при максимальной температуре 750ºС и идентифицированы как стекла. Установлено, что полученные аморфные тонкие пленки имеют островковую структуру. Толщина пленки трисульфида мышьяка может варьироваться в пределах от 200 нм при средней шероховатости поверхности 0.7 нм до 2.5 мкм при средней шероховатости 100 нм; толщина пленки триселенида мышьяка может варьироваться в пределах от 200 нм (средняя шероховатость поверхности 8 нм) до 3 мкм (средняя шероховатость поверхности 200 нм). Исследованы оптические характеристик тонких пленок, в частности, оптическое пропускание в видимом диапазоне спектра. Установлена оптическая ширина запрещенной зоны полученных пленок с привлечением теоретической модели Тауца, разработанной для аморфных полупроводников. Выполнено сравнение экспериментальных результатов с литературными данными.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>This paper describes the processes of preparing solutions of binary vitreous semiconductor materials As2X3 (X = S, Se) and fabricating thin films based on them by spin coating. The initial materials are synthesized using semiconductor purity grade solvents by the direct synthesis in pre-vacuumed quartz vials at a maximum temperature of 750ºС and identified by the authors as glass. The obtained amorphous thin films are proven to have an island morphology. The thickness of the As2S3 film can vary in the range of 200 nm (at an average roughness of 0.7 nm) to 2.5 μm (at an average roughness of 100 nm). The thickness of the As2Se3 film can vary in the range of 200 nm (at an average roughness of 8 nm) to 3 μm (at an average roughness of 200 nm). The optical characteristics of thin films are also studied, in particular optical transmission in the visible spectrum. The band gap of the obtained films is determined by employing a Tauc plot. The findings of the experiment are compared with the literature data.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>тонкие пленки</kwd><kwd>халькогенидные стеклообразные полупроводники</kwd><kwd>спин-коатинг</kwd><kwd>оптический край поглощения</kwd></kwd-group><kwd-group xml:lang="en"><kwd>thin films</kwd><kwd>vitreous chalcogenide semiconductors</kwd><kwd>spin coаting</kwd><kwd>optical absorption edge</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Фель А. Аморфные и стеклообразные неорганические твердые тела. М.: Мир, 1986. 556 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Фель А. Аморфные и стеклообразные неорганические твердые тела. М.: Мир, 1986. 556 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах: в 2-х т. М.: Мир, 1982. 662 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах: в 2-х т. М.: Мир, 1982. 662 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Попов А.И. Физика и технология неупорядоченных полупроводников. М.: Изд. дом МЭИ, 2008. 270 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Попов А.И. Физика и технология неупорядоченных полупроводников. М.: Изд. дом МЭИ, 2008. 270 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kolobov A.V., Tominaga J. Chalcogenides. Metastability and phase change phenomena. Springer, 2012. 277 р.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kolobov A.V., Tominaga J. Chalcogenides. Metastability and phase change phenomena. Springer, 2012. 277 р.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kasap S., Frey J.B., Belev G., Tousignant O., Mani H., Greenspan J., Laperriere L., Bubon O., Reznik A., De Crescenzo G., Karim K.S., Rowlands J.A. Amorphous and polycrystalline photoconductors for direct conversion flat panel X-Ray image sensors // Sensors. 2011. V. 11. Р. 5112-5157.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kasap S., Frey J.B., Belev G., Tousignant O., Mani H., Greenspan J., Laperriere L., Bubon O., Reznik A., De Crescenzo G., Karim K.S., Rowlands J.A. Amorphous and polycrystalline photoconductors for direct conversion flat panel X-Ray image sensors // Sensors. 2011. V. 11. Р. 5112-5157.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Электронные явления в халькогенидных стеклообразных полупроводниках / Под ред. К.Д. Цэндина. СПб.: Наука, 1996. 486 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Электронные явления в халькогенидных стеклообразных полупроводниках / Под ред. К.Д. Цэндина. СПб.: Наука, 1996. 486 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера, 2007. 176 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера, 2007. 176 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. М.: Техносфера, 2014. 256 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. М.: Техносфера, 2014. 256 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Борисова З.У. Халькогенидные полупроводниковые стекла. Л.: Изд-во Ленинградского университета, 1983. 344 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Борисова З.У. Халькогенидные полупроводниковые стекла. Л.: Изд-во Ленинградского университета, 1983. 344 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Chern G.C., Lauks I. Spin-coated amorphous-chalcogenide films // J. Appl. Phys. 1982. № 53(10). P. 6979-6982.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Chern G.C., Lauks I. Spin-coated amorphous-chalcogenide films // J. Appl. Phys. 1982. № 53(10). P. 6979-6982.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Kohoute K., Wagner T., Orava J., Krbal M. Surface morphology of spin-coated As-S-Se chalcogenide thin films // J. Non-Cryst. Solids. 2007. № 353(13-15). Р. 1437-1440.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kohoute K., Wagner T., Orava J., Krbal M. Surface morphology of spin-coated As-S-Se chalcogenide thin films // J. Non-Cryst. Solids. 2007. № 353(13-15). Р. 1437-1440.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Socrates G. Infrared and Raman characteristic group frequencies. New York: John Wiley &amp; Sons Ltd., 2001. 366 р.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Socrates G. Infrared and Raman characteristic group frequencies. New York: John Wiley &amp; Sons Ltd., 2001. 366 р.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Tauc J. The optical properties of solids / Ed. F. Abeles. Amsterdam: North Holland Publ., 1970. P. 227.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Tauc J. The optical properties of solids / Ed. F. Abeles. Amsterdam: North Holland Publ., 1970. P. 227.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Котликов Е.Н., Иванов В.А., Крупенников В.А. Исследование оптических констант пленок халькогенидов мышьяка в области длин волн 0.5-2.5 мкм // Оптика и спектроскопия. 2007. Т. 103. № 6. С. 983-987.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Котликов Е.Н., Иванов В.А., Крупенников В.А. Исследование оптических констант пленок халькогенидов мышьяка в области длин волн 0.5-2.5 мкм // Оптика и спектроскопия. 2007. Т. 103. № 6. С. 983-987.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
