mireabulletinRussian Technological JournalRussian Technological Journal2782-32102500-316XRTU MIREA10.32362/2500-316X-2016-4-2-25-30mireabulletin-12Research ArticleСтатьиЛИНЗОВЫЙ АКУСТИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП С ЛИНЕЙНОЙ РЕШЕТКОЙ В РЕЖИМЕ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СЛОИСТЫХ ОБЪЕКТОВLENS ACOUSTIC MICROSCOPE WITH A LINEAR ARRAY FOR QUANTITATIVE CHARACTERIZATION OF LAYERED OBJECTSТитовС. А.TitovS. A.sergetitov@mail.ruМаевР. Г.MaevR. G.noemail@neicon.ruБогаченковА. Н.BogachenkovA. N.noemail@neicon.ruМосковский технологический университет (МИРЭА), Институт биохимической физики им. Н.М. Эмануэля РАН (ИБХФ РАН)РоссияMoscow Тechnological University (MIREA), Emanuel Institute of Biochemical Physics of Russian Academy of Sciences (IBCP RAS)Russian FederationИнститут биохимической физики им. Н.М. Эмануэля РАН (ИБХФ РАН)РоссияEmanuel Institute of Biochemical Physics of Russian Academy of Sciences (IBCP RAS)Russian FederationМосковский технологический университет (МИРЭА)РоссияMoscow Тechnological University (MIREA)Russian Federation201628042016422530Copyright © Титов С.А., Маев Р.Г., Богаченков А.Н., 20162016Титов С.А., Маев Р.Г., Богаченков А.Н.Titov S.A., Maev R.G., Bogachenkov A.N.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.rtj-mirea.ru/jour/article/view/12

Предложен акустический микроскоп с ультразвуковой решеткой и цилиндрической линзой, предназначенный для количественной характеризации слоистых областей исследу-емого объекта. Разработан метод определения по регистрируемому пространственно-вре-менному сигналу решетки микроскопа толщины слоя и скоростей продольной и поперечной волн в материале слоя. На примере тестового образца показано, что погрешность измерений составляет примерно 1% для толщины и скорости продольной волны и 3% - для скорости поперечной волны.

In this paper, the acoustic microscope with a linear ultrasonic array and a cylindrical lens has been proposed in order to carry out quantitative characterization of layered regions of the sample under research. The determination method based on recording the microscope array spatio-temporal signal of the layer thickness and velocities of the longitudinal and transverse waves in the layer material has been developed. By using a test sample, it was shown that the error of measurement is about 1 % for both the thickness and the velocity of the longitudinal wave, and it is 3 % for the velocity of the transverse wave.

акустическая микроскопияультразвуковая решеткаколичественная характеризацияacoustic microscopyultrasonic arrayquantitative characterizationReferencesAdvances in acoustic microscopy and high resolution imaging: from principles to applications / Ed. R. Maev. Weinheim, Germany: Wiley-VCH, 2013. 400 p.Advances in acoustic microscopy and high resolution imaging: from principles to applications / Ed. R. Maev. Weinheim, Germany: Wiley-VCH, 2013. 400 p.Prokhorov V.M., Bagramov R.H., Blank V.D., Pivovarov G.I. Pulse acoustic microscopy characterization of the elastic properties of nanostructured metal-nanocarbon composites // Ultrasonics. 2008. V. 48. P. 578-582.Prokhorov V.M., Bagramov R.H., Blank V.D., Pivovarov G.I. Pulse acoustic microscopy characterization of the elastic properties of nanostructured metal-nanocarbon composites // Ultrasonics. 2008. V. 48. P. 578-582.Habib A., Shelke A., Vogel M., Pietsch U., Jiang X., Kundu T. Mechanical characterization of sintered piezo-electric ceramic material using scanning acoustic microscope // Ultrasonics. 2012. V. 52. P. 989-995.Habib A., Shelke A., Vogel M., Pietsch U., Jiang X., Kundu T. Mechanical characterization of sintered piezo-electric ceramic material using scanning acoustic microscope // Ultrasonics. 2012. V. 52. P. 989-995.Deng X.D., Monnier T., Guy P., Courbon J. Acoustic microscopy of functionally graded thermal sprayed coatings using stiffness matrix method and Stroh formalism. // J. Apppl. Phys. 2013. V. 113. P. 224508-1- 224508-10.Deng X.D., Monnier T., Guy P., Courbon J. Acoustic microscopy of functionally graded thermal sprayed coatings using stiffness matrix method and Stroh formalism. // J. Apppl. Phys. 2013. V. 113. P. 224508-1- 224508-10.Петронюк Ю.С., Мороков Е.С., Левин В.М. Методы импульсной акустической микро-скопии в промышленной диагностике // Известия РАН. Серия физическая. 2015. Т. 79. № 10. С. 1425-1431.Петронюк Ю.С., Мороков Е.С., Левин В.М. Методы импульсной акустической микро-скопии в промышленной диагностике // Известия РАН. Серия физическая. 2015. Т. 79. № 10. С. 1425-1431.Xiaolong Bai, Zeqing Sun, Anyu Sun, Jian Chen, and Bing-Feng Ju. Determination of the multiple local properties of thin layer with high lateral resolution by scanning acoustic microscopy // Review of Scientific Instruments. 2014. V. 85. Р. 094901-1-094901-8.Xiaolong Bai, Zeqing Sun, Anyu Sun, Jian Chen, and Bing-Feng Ju. Determination of the multiple local properties of thin layer with high lateral resolution by scanning acoustic microscopy // Review of Scientific Instruments. 2014. V. 85. Р. 094901-1-094901-8.Rohrbach D., Lloyd H.O., Silverman R.H., Mamou J. Fine-resolution maps of acoustic properties at 250 MHz of unstained fixed murine retinal layer // J. Acoust. Soc. Am. 2015. V. 137. № 5. Р. EL381 - EL387.Rohrbach D., Lloyd H.O., Silverman R.H., Mamou J. Fine-resolution maps of acoustic properties at 250 MHz of unstained fixed murine retinal layer // J. Acoust. Soc. Am. 2015. V. 137. № 5. Р. EL381 - EL387.Титов С.А., Маев Р.Г. Линзовый акустический микроскоп с двумерной ультразвуковой решеткой // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. Вып. 9. С. 8-15.Титов С.А., Маев Р.Г. Линзовый акустический микроскоп с двумерной ультразвуковой решеткой // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. Вып. 9. С. 8-15.Титов С.А., Маев Р.Г. Определение параметров изотропного слоя по пространствен-но-временным сигналам ультразвуковой решетки // Акуст. ж. 2013. Т. 59. № 5. С. 648-656.Титов С.А., Маев Р.Г. Определение параметров изотропного слоя по пространствен-но-временным сигналам ультразвуковой решетки // Акуст. ж. 2013. Т. 59. № 5. С. 648-656.Бард Й. Нелинейное оценивание параметров. М.: Статистика, 1979. С. 98-101.Бард Й. Нелинейное оценивание параметров. М.: Статистика, 1979. С. 98-101.Ермолов И.Н., Ланге Ю.В. Ультразвуковой контроль. М.: Машиностроение, 2004. С. 30.Ермолов И.Н., Ланге Ю.В. Ультразвуковой контроль. М.: Машиностроение, 2004. С. 30.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.