mireabulletinRussian Technological JournalRussian Technological Journal2782-32102500-316XRTU MIREA10.32362/2500-316X-2025-13-3-103-121KBLENUmireabulletin-1182Research ArticleМИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКА. ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯMICRO- AND NANOELECTRONICS. CONDENSED MATTER PHYSICSМикроэлектромеханические системы: путь к совершенствованию гироскоповMicroelectromechanical systems for improved gyroscope designhttps://orcid.org/0000-0001-5459-7883КузнецовП. С.KuznetsovP. S.

Кузнецов Павел Сергеевич, к.т.н., заместитель начальника экспериментального комплекса микроэлектроники и микромеханических систем 129226, Россия, Москва, пр-т Мира, д. 125

Pavel S. Kuznetsov, Cand. Sci. (Eng.), Deputy Head of the Experimental Complex of Microelectronics andMicromechanical Systems 125, Mira pr., Moscow, 129226 Russia

ps_kuznetsov@mail.ruАкционерное общество «Государственный научно-исследовательский институт приборостроения» (АО «ГосНИИП»)РоссияState Scientific Research Institute of Instrument Engineering (GosNIIP)Russian Federation202505062025133103121Copyright © Кузнецов П.С., 20252025Кузнецов П.С.Kuznetsov P.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.rtj-mirea.ru/jour/article/view/1182

Цели. Микросистемная техника является одним из наиболее популярных и перспективных направлений, которые активно развиваются в настоящее время. Область применения элементов микросистемной техники весьма широка. Настоящая работа направлена на всестороннее изучение процессов разработки и создания современных гироскопов на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС-гироскопов). Целью исследования является анализ рисков, связанных с технологическими аспектами их производства, а также определение перспективных направлений для дальнейшего развития как самих МЭМС-гироскопов, так и технологий их изготовления.Методы. В ходе работы осуществлен детализированный анализ существующих научных публикаций, аналитических обзоров и других доступных источников, посвященных МЭМС-гироскопам и актуальным трендам в области микрооптоэлектромеханических технологий и сегнетоэлектрических пленок.Результаты. Представлено краткое описание конструктивных решений современных МЭМС-гироскопов, а также их интеграция в мехатронные системы. Рассматриваются технологии производства МЭМС-гироскопов и специфика используемого технологического оборудования. В отдельном разделе обсуждаются аспекты настройки и калибровки этих устройств. Выделены перспективные направления развития МЭМС-гироскопов с акцентом на применение микрооптоэлектромеханических преобразователей и сегнетоэлектрических пленок.Выводы. На основе проведенного анализа показана перспективность развития МЭМС-гироскопов, несмотря на имеющиеся технологические вызовы. Отмечено, что новые физические принципы и уникальные технологии могут способствовать появлению новых видов МЭМС-гироскопов, использующих микрооптоэлектромеханические преобразователи и сегнетоэлектрические пленки. Это, в свою очередь, открывает новые горизонты для будущих разработок в данной области. Показана необходимость разработки новых технологий производства и специализированного оборудования для повышения качества МЭМС-гироскопов.

Objectives. Microsystem engineering is currently receiving a great deal of research attention due to the very wide scope of application of its various elements. The present study of the development and creation of modern gyroscopes based on microelectromechanical systems (MEMS gyroscopes) analyzes the risks associated with the technological aspects of their production and identifies promising areas for further development both of MEMS gyroscopes themselves and the technologies used to manufacture them.Methods. A detailed analysis of existing scientific publications, analytical reviews, and other available sources on MEMS gyroscopes and current trends in the field of microoptoelectromechanical technologies and ferroelectric films was carried out.Results. A brief description of the design solutions of modern MEMS gyroscopes and their integration into mechatronic systems is presented. The production technologies of MEMS gyroscopes and specifics of the technological equipment used are considered. A separate section discusses the configuration and calibration aspects of these devices. Promising directions for the development of MEMS gyroscopes with an emphasis on the use of microoptoelectromechanical converters and ferroelectric films are highlighted.Conclusions. Based on the analysis, the prospects for the development of MEMS gyroscopes are shown, despite the existing technological challenges. It is noted that new physical principles and unique technologies can contribute tothe emergence ofnew types ofMEMS gyroscopes using micro-optoelectromechanical converters and ferroelectric films. This, in turn, opens up new horizons for future developments in this area. The necessity of developing new production technologies and specialized equipment to improve the quality of MEMS gyroscopes is demonstrated.

МЭМС-гироскопмикросистемная техникатехнология созданияоборудование производствамикрооптоэлектромеханический преобразовательоптический туннельный эффектфотоникасегнетоэлектричествоMEMS gyroscopemicrosystem technologycreation technologyproduction equipmentmicrooptoelectromechanical converteroptical tunneling effectphotonicsferroelectricityReferencesМальцев П.П., Телец В.А. Лекция 13. Микросистемная техника. В кн.: Базовые лекции по электронике: в 2-х т. Т. II. Твердотельная электроника. М.: Техносфера; 2009. С. 499–575.Maltsev P.P., Telets V.A. Lecture 13. Microsystem technology. In: Bazovye lektsii po elektronike (Basic Lectures on Electronics): in 2 v. V. II. Solid-State Electronics. Moscow: Tekhnosfera; 2009. P. 499–575 (in Russ.).Peshekhonov V.G. The Outlook for Gyroscopy. Gyroscopy Navig. 2020;11:193–197. https://doi.org/10.1134/S2075108720030062Peshekhonov V.G. The Outlook for Gyroscopy. Gyroscopy Navig. 2020;11:193–197. https://doi.org/10.1134/S2075108720030062Damianos D., Mouly J., Delbos P. Status of the MEMS Industry 2021. Market & Technology Report; 2021. 10 p.Damianos D., Mouly J., Delbos P. Status of the MEMS Industry 2021. Market & Technology Report; 2021. 10 p.Синельников А.О., Тихменев Н.В., Ушанов А.А., Медведев В.М. Современное состояние и тенденции развития инерциальных навигационных систем на кольцевых лазерных гироскопах. Фотоника. 2024;18(6):450–466. http://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.6.450.466Sinelnikov A.O., Tikhmenev N.V., Ushanov A.A., Medvedev V.M. State-of-the-Art and Development Trends of Inertial Navigation Systems Based on the Ring Laser Gyroscopes. Fotonika = Photonics Russia. 2024;8(6):450–466. http://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.6.450.466Robin L., Perlmutter M. Gyroscopes and IMUs for Defense Aerospace and Industrial. Report by Yole Development. 2012. 317 р.Robin L., Perlmutter M. Gyroscopes and IMUs for Defense Aerospace and Industrial. Report by Yole Development. 2012. 317 р.Пыжова Е.М. Микромеханические гироскопы в системах навигации. В сб.: Прикладная электродинамика, фотоника и живые системы – 2019: материалы конференции. Казань: ИП Сагиева А.Р.; 2019. С. 669–671. https://www.elibrary.ru/agslgxPyzhova E.M. Micromechanical gyroscopes in navigation systems. In: Prikladnaya elektrodinamika, fotonika i zhivye sistemy – 2019 (Applied Electrodynamics, Photonics and Living Systems – 2019). Proceedings. Kazan: Individual Entrepreneur Sagieva A.R.; 2019. P. 669–671 (in Russ.). https://www.elibrary.ru/agslgxВернер В.Д., Сауров А.Н., Иванов А.А., Телец В.А., Коломенская Н.Г., Лучинин В.В., Мальцев П.П., Попова И.В. Изделия микросистемной техники – основные понятия и термины. Нано- и микросистемная техника. 2007;12:2–5.Verner V.D., Ivanov A.A., Kolomenskaya N.G., Luchinin V.V., Maljtcev P.P., Popova I.V., Saurov A.N., Teletc V.A. The Produces of Microsystems Techniques – Fundamental Ideals and Terms. Nano- i mikrosistemnaja tehnika = Nano- and Microsystem Technique. 2007;12:2–5 (in Russ.).Кузнецов П.С. Вопросы и перспективы развития мехатроники и микросистемной техники. Нано- и микросистемная техника. 2024;26(4):159–169. https://doi.org/10.17587/nmst.25.159-169Kuznetsov P.S. Issues and prospects for the development of mechatronics and microsystem technology. Nano- imikrosistemnaja tehnika = Nano- and Microsystem Technique. 2024;26(4):159–169 (in Russ.). https://doi.org/10.17587/nmst.25.159-169Распопов В.Я., Никулин А.В., Лихошерст В.В. Классификация конструкций микромеханических гироскопов. Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2005;48(8):5–8.Raspopov V.Ya., Nikulin A.V., Likhoshurst V.V. Classification of designs of micromechanical gyros. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedenii. Priborostroenie = J. Instrument. Eng. 2005;48(8):5–8 (in Russ.).Вавилов В.Д., Тимошенков С.П., Тимошенков А.С. Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частях. М.: ТЕХНОСФЕРА; 2018. 550 с.Vavilov V.D., Timoshenkov S.P., Timoshenkov A.S. Mikrosistemnye datchiki fizicheskikh velichin (Microsystem Sensors of Physical Quantities). Monograph in two parts. Moscow: TEKhNOSFERA; 2018. 550 p. (in Russ.).Тимошенков С.П., Михеев А.В., Каменский А.М., Артемов Е.И., Полушкин В.М., Петрова Н.А., Боев Л.Р., Пузиков В.В. Инерциальные микроэлектромеханические системы (акселерометры и гироскопы). Наноиндустрия. 2020;(S96-2):471–474. https://doi.org/10.22184/1993-8578.2020.13.3s.471.474Timoshenkov S.P., Mikheev A.V., Kamenskii A.M., Artemov E.I., Polushkin V.M., Petrova N.A., Boev L.R., Puzikov V.V. Inertial microelectromechanical systems (accelerometers and gyroscopes). Nanoindustriya = Nanoindustry. 2020;(S96-2): 471–474 (in Russ.). https://doi.org/10.22184/1993-8578.2020.13.3s.471.474Asar C., Shkel A. MEMS Vibratory Gyroscopes. Structural Approaches to Improve Robustness. Springer; 2009. 260 p. https://doi.org/10.1007/978-0-387-09536-3Asar C., Shkel A. MEMS Vibratory Gyroscopes. Structural Approaches to Improve Robustness. Springer; 2009. 260 p. https://doi.org/10.1007/978-0-387-09536-3Лукьянов Д.П., Распопов В.Я., Филатов Ю.В. Прикладная теория гироскопов. СПб.: ЦНИИ «Электроприбор»; 2015. С. 42–46.Lukyanov D.P., Raspopov V.Ya., Filatov Yu.V. Prikladnaya teoriya giroskopov (Applied Theory of Gyroscopes). St. Petersburg: Electropribor; 2015. P. 42–46 (in Russ.).Шахнович И.В. МЭМС-гироскопы – единство выбора. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2007;1:76–85.Shakhnovich I.V. MEMS-gyroscopes – unity of choice. Elektronika: Nauka, Tekhnologiya, Biznes = Electronics: Science, Technology, Business. 2007;1:76–85 (in Russ.).Xinfeng Z., Jingjing F., Zhipeng L., Mengtong Z. MEMS Gyroscopes Development and Application Overview on Intelligent Vehicles. In: 2020 Chinese Control and Decision Conference (CCDC). Hefei, China. 2020. P. 53–59. https://doi.org/10.1109/CCDC49329.2020.9164093Xinfeng Z., Jingjing F., Zhipeng L., Mengtong Z. MEMS Gyroscopes Development and Application Overview on Intelligent Vehicles. In: 2020 Chinese Control and Decision Conference (CCDC). Hefei, China. 2020. P. 53–59. https://doi.org/10.1109/CCDC49329.2020.9164093Zhanshe G., Fucheng C., Boyu L., et al. Research development of silicon MEMS gyroscopes: a review. Microsyst. Technol. 2015;21(10):2053–2066. https://doi.org/10.1007/s00542-015-2645-xZhanshe G., Fucheng C., Boyu L., et al. Research development of silicon MEMS gyroscopes: a review. Microsyst. Technol. 2015;21(10):2053–2066. https://doi.org/10.1007/s00542-015-2645-xКоновалов С.Ф., Пономарев Ю.А., Майоров Д.В. Магнитная компенсация нулевого сигнала в гибридном двухкоординатном МЭМС-гироскопе R-R-R-типа. Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия Приборостроение. 2013;4(93):122–131.Konovalov S.F., Ponomarev Yu.A., Mayorov D.V. Magnetic compensation of the zero signal in a two-axis hybrid R-R-R type MEMS gyro. Vestnik Moskovskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta im. N.E. Baumana. Seriya Priborostroenie = Herald of the Bauman Moscow State Technical University. Series Instrument Engineering. 2013;4(93):122–131 (in Russ.).Каликанов А.В. Расчет чувствительного элемента микромеханического гироскопа RR-типа. Молодой ученый. 2020;1(291):28–33.Kalikanov A.V. Calculation of the sensing element of an RR-type micromechanical gyroscope. Molodoi uchenyi = Young Scientist. 2020;1(291):28–33 (in Russ.).Бочаров Л.Ю., Мальцев П.П. Состояние и перспективы развития микроэлектромеханических систем за рубежом. Микросистемная техника. 1999;1:41–46.Bocharov L.Yu., Maltsev P.P. Status and development prospects of microelectromechanical systems abroad. Mikrosistemnaya tekhnika = Microsystem Technology. 1999;1:41–46 (in Russ.).Попова И.В., Лестев А.М., Семенов А.А., Иванов В.А., Ракитянский О.И. Микромеханический гироскоп-акселерометр: пат. 84542 РФ. Заявка № 20009105376/22; заявл. 16.02.2009; опубл. 10.07.2009.Popova I.V., Lestev A.M., Semenov A.A., Ivanov V.A., Rakityanskii O.I. Micromechanical Gyroscope-Accelerometer: RF Pat. 84542. Publ. 10.07.2009 (in Russ.).Попова И.В., Лестев А.М., Семенов А.А., Иванов В.А., Ракитянский О.И., Бурцев В.А. Капсулированные микромеханические гироскопы и акселерометры для систем навигации и управления. Гироскопия и навигация. 2008;3(62):27–36.Popova I.V., Lestev A.M., Semenov A.A., Ivanov V.A., Rakityanskii O.I., Burtsev V.A. Encapsulated micromechanical gyroscopes and accelerometers for navigation and control systems. Giroskopiya i navigatsiya = Gyroscopy and Navigation. 2008;3(62):27–36 (in Russ.).Подураев Ю.В. Актуальные проблемы мехатроники. Мехатроника, автоматизация, управление. 2007;4:50–53.Poduraev Yu.V. Actual problems of mechatronics. Mekhatronika, avtomatizatsiya, upravlenie = Mechatronics, Automation, Control. 2007;4:50–53 (in Russ.).Филимонов Н.Б. Предмет современной мехатроники и ее место в системе наук. Многоядерные процессоры, параллельное программирование, ПЛИС, системы обработки сигналов. 2017;1(7):151–159.Filimonov N.B. The subject of modern mechatronics and its place in the system of sciences. Mnogoyadernye protsessory, parallel’noe programmirovanie, PLIS, sistemy obrabotki signalov = Multicore Processors, Parallel Programming, FPGAs, Signal Processing Systems. 2017;1(7):151–159 (in Russ.).Егоров О.Д., Подураев Ю.В. Анализ и синтез интегрированных мехатронных модулей. Мехатроника, автоматизация, управление. 2005;10:3–8.Egorov O.D., Poduraev Yu.V. Analysis and synthesis of integrated mechatronic modules. Mekhatronika, avtomatizatsiya, upravlenie = Mechatronics, Automation, Control. 2005;10:3–8 (in Russ.).Bradley D. Mechatronics – More questions than answers. Mechatronics. 2010;20(8):827–841. https://doi.org/10.1016/j.mechatronics.2010.07.011Bradley D. Mechatronics – More questions than answers. Mechatronics. 2010;20(8):827–841. https://doi.org/10.1016/j.mechatronics.2010.07.011Bogolyubov V., Bakhtieva L. Astatic Gyrocompass Based on a Hybrid Micromechanical Gyroscope. In: IEEE East-West Design and Test Symposium, (EWDTS) – Proceedings. 2021. P. 1–5. https://doi.org/10.1109/EWDTS52692.2021.9580982Bogolyubov V., Bakhtieva L. Astatic Gyrocompass Based on a Hybrid Micromechanical Gyroscope. In: IEEE East-West Design and Test Symposium, (EWDTS) – Proceedings. 2021. P. 1–5. https://doi.org/10.1109/EWDTS52692.2021.9580982Евстифеев М.И. Основные этапы разработки отечественных микромеханических гироскопов. Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2011;54(6):75–80.Evstifeev M.I. Principal stages of development of domestic micromechanical gyroscopes. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedenii. Priborostroenie = J. Instrument. Eng. 2011;54(6):75–80 (in Russ.).Евстифеев М.И. Опыт разработки микромеханических гироскопов. В сб.: Навигация и управление движением: материалы докладов Х Юбилейной конференции молодых ученых. СПб.: ЦНИИ «Электроприбор»; 2008. С. 9–20.Evstifeev M.I. Experience in the development of micromechanical gyroscopes. In: Navigation and Motion Control: Materials of the Reports of the 10th Anniversary Conference of Young Scientists). St. Petersburg: Electropribor; 2008. P. 9–20 (in Russ.).Моисеев Н.В., Некрасов Я.А. Анализ систем управления вторичными колебаниями современных микромеханических гироскопов. Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2012;7:115–126.Moiseev N.V., Nekrasov Ya.A. Analysis of control systems of mems gyroscope channel. Izvestiya Tul’skogo gosudarstvennogo universiteta. Tekhnicheskie nauki = News of the Tula State University. Technical Sciences. 2012;7:115–126 (in Russ.).Бекмачев А., Попова Н. Инерциальные МЭМС-датчики производства АО «ГИРООПТИКА». Современная электроника. 2018;5:4–6.Bekmachev A., Popova N. Inertial MEMS sensors manufactured by JSC GYROOPTIKA. Sovremennaya elektronika = Modern Electronics. 2018;5:4–6 (in Russ.).Евстафьев С.Д., Ракитянский О.И., Северов Л.А., Семенов А.А. Калибровка информационных характеристик микромеханического гироскопа. Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2012;7:167–172.Evstafiev S.D., Rakityanskii O.I., Severov L.A., Semenov A.A. Calibration of information characteristics MMG LL type. Izvestiya Tul’skogo gosudarstvennogo universiteta. Tekhnicheskie nauki = News of the Tula State University. Technical Sciences. 2012;7:167–172 (in Russ.).Новиков В.Ю., Прилуцкий И.С. Перспективы развития микромеханических и наномеханических устройств. Электронные средства и системы управления. Материалы докладов IV Международной научно-практической конференции, 13–16 октября 2010 г. Томск: В-Спектр; 2011;2:109–113.Novikov V.Yu., Prilutskii I.S. Prospects for the development of micromechanical and nanomechanical devices. Elektronnye sredstva i sistemy upravleniya (Electronic Means and Control Systems). Materials of the Reports of the 4th International Scientific and Practical Conference. October 13–16, 2010. Tomsk: V-Spektr; 2011;2:109–113 (in Russ.).Теряев Е.Д., Филимонов Н.Б. Наномехатроника: состояние, проблемы, перспективы. Мехатроника, автоматизация, управление. 2010;1:2–14.Teryaev E.D., Filimonov N.B. Nanomechatronics: state, problems, prospects. Mekhatronika, avtomatizatsiya, upravlenie = Mechatronics, Automation, Control. 2010;1:2–14 (in Russ.).Кузнецов П.С. К вопросу технологии создания твердотельных микромеханических систем. Естественные и технические науки. 2024;3(190):136–139. https://doi.org/10.25633/ETN.2024.03.09Kuznetsov P.S. On the issue of technology for creating solid-state micromechanical systems. Estestvennye i tekhnicheskie nauki = Natural and Technical Sciences. 2024;3(190):136–139 (in Russ.). https://doi.org/10.25633/ETN.2024.03.09Ивашов Е.Н., Кузнецов П.С., Федотов К.Д. Оптимизация управления параметрами метрологического обеспечения при производстве микромеханических гироскопов. Вестник машиностроения. 2015;5:40–45.Ivashov E.N., Kuznetsov P.S., Fedotov K.D. Optimization of control of metrological support parameters in the production of micromechanical gyroscopes. Vestnik Mashinostroeniya. 2015;5:40–45 (in Russ.).Васин В.А., Ивашов Е.Н., Кузнецов П.С., Степанчиков С.В. Монография 6. Микроинженерия магнитных устройств. Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7 монографий. Ивантеевка Моск. обл.: Изд-во НИИ предельных технологий; 2013. 205 с.Vasin V.A., Ivashov E.N., Kuznetsov P.S., Stepanchikov S.V. Monograph 6. Microengineering of magnetic devices. In: Mikro- i nanoinzheneriya v elektronnom mashinostroenii (Micro- and Nanoengineering in Electronic Engineering): A series of 7 monographs. Ivanteevka: Research Institute of Extreme Technologies; 2013. 205 p. (in Russ.).Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме. Технология машиностроения. 2011;6:27–30.Vasin V.A., Ivashov E.N., Stepanchikov S.V. Increasing the uniformity of thin film deposition in vacuum. Tekhnologiya Mashinostroeniya. 2011;6:27–30 (in Russ.).Васин В.А., Ивашов Е.Н., Кузнецов П.С., Степанчиков С.В. Устройства с бесконтактным магнитным взаимодействием для специального технологического оборудования. Технология машиностроения. 2011;2:47–51.Vasin V.A., Ivashov E.N., Kuznetsov P.S., Stepanchikov S.V. Devices with contactless magnetic interaction for special technological equipment. Tekhnologiya Mashinostroeniya. 2011;2:47–51 (in Russ.).Васин В.А., Ивашов Е.Н., Кузнецов П.С., Степанчиков С.В. Особенности применения устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в современном сверхвысоковакуумном контрольно-диагностическом и технологическом оборудовании. Контроль. Диагностика. 2011;2:44–48.Vasin V.A., Ivashov E.N., Kuznetsov P.S., Stepanchikov S.V. The features of application of devices with contactless magnetic interaction in modern ultrahigh vacuum control and diagnostic and technological equipment. Kontrol’. Diagnostika = Testing. Diagnostics. 2011;2:44–48 (in Russ.).Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Контрольно-навигационная система современного сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса. Контроль. Диагностика. 2012;5:71–74.Vasin V.A., Ivashov E.N., Stepanchikov S.V. Control and navigation system of the modern ultrahigh vacuum analytical and processing complex. Kontrol’. Diagnostika = Testing. Diagnostics. 2012;5:71–74 (in Russ.).Ивашов Е.Н., Лучников А.П., Сигов А.С., Степанчиков С.В. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники. М.: Энергоатомиздат; 2008. 288 с.Ivashov E.N., Luchnikov A.P., Sigov A.S., Stepanchikov S.V. Proektirovanie elementov i ustroistv tekhnologicheskikh sistem elektronnoi tekhniki (Design of Elements and Devices of Technological Systems of Electronic Equipment). Moscow: Energoatomizdat; 2008. 288 p. (in Russ.).Саленко Д.С. Особенности моделирования MEMS-гироскопа. Автоматика и программная инженерия. 2015;2(12): 109–115.Salenko D.S. Features of MEMS gyroscope modeling. Avtomatika i programmnaya inzheneriya = Automatics & Software Enginery. 2015;2(12):109–115 (in Russ.).Кузнецов П.С. Определение параметров при производстве МЭМС-гироскопов. Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий. 2014;1:456-460. https://www.elibrary.ru/ukrxnlKuznetsov P.S. Determination of parameters in the production of MEMS gyroscopes. Innovatsii na osnove informatsionnykh i kommunikatsionnykh tekhnologii = Innovations Based on Information and Communication Technologies. 2014;1:457–460 (in Russ.). https://www.elibrary.ru/ukrxnvКузнецов П.С. Компенсация нелинейности МЭМС-гироскопов с помощью математического моделирования. Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий. 2014;1:460-462. https://www.elibrary.ru/ukrxnvKuznetsov P.S. Compensation of the nonlinearity of MEMS gyroscopes using mathematical modeling. Innovatsii na osnove informatsionnykh i kommunikatsionnykh tekhnologii = Innovations Based on Information and Communication Technologies. 2014;1:460–462 (in Russ.). https://www.elibrary.ru/ukrxnvБойков И.В., Кривулин Н.П. Идентификация дискретных динамических систем с распределенными параметрами. Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки. 2014;2(30):34–48.Boikov I.V., Krivulin N.P. Identification of discrete dynamical systems with distributed parameters. Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedenii. Povolzhskii region. Fiziko-matematicheskie nauk = University Proceedings. Volga region. Physical and Mathematical Sciences. 2014;2(30):34–48 (in Russ.).Крылов А.А., Корниюк Д.В. Технологические подходы к устранению смещения нуля МЭМС гироскопов в составе гироинерциального блока. Труды МАИ. 2018;103:18.Krylov A.A., Korniyuk D.V. Technological approaches to zero offset compensation in MEMS gyroscopes being a part of the inertial measurement unit. Trudy MAI. 2018;103:18 (in Russ.).Крылов А.А., Кузнецов П.С. Устранение смещения нуля МЭМС-гироскопов при различной температурной динамике. Вестник Концерна ВКО Алмаз-Антей. 2019;2(29):34–39.Krylov A.A., Kuznetsov P.S. MEMS gyroscope zero drift elimination at different temperature dynamics. Vestnik Kontserna VKO Almaz-Antei. 2019;2(29):34–39 (in Russ.).Крылов А.А. Исследование нестабильности дрейфа нуля МЭМС-гироскопов и способов ее учета при калибровке. Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2020;1:64–69.Krylov A.A. Research of MEMS gyroscopes zero drift instability and ways of its accounting at calibration. Izvestiya Tul’skogo gosudarstvennogo universiteta. Tekhnicheskie nauki = News of the Tula State University. Technical Sciences. 2020;1:64–69 (inRuss.).Бусурин В.И., Васецкий С.О., Казарьян А.В. Компенсационный микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости: пат. 2806242 РФ. Заявка № 2023123201А; заявл. 06.09.2023; опубл. 30.10.2023.Busurin V.I., Vasetsky S.O., Kazaryan A.V. Compensating Micro-optoelectromechanical Angular Velocity Sensor: RF Pat. 2806242. Publ. 30.10.2023 (in Russ.).Xia D., Huang L., Zhao L. A New Design of an MOEMS Gyroscope Based on a WGM Microdisk Resonator. Sensors. 2019;19(12):2798. https://doi.org/10.3390/s19122798Xia D., Huang L., Zhao L. A New Design of an MOEMS Gyroscope Based on a WGM Microdisk Resonator. Sensors. 2019;19(12):2798. https://doi.org/10.3390/s19122798Barbin E., Nesterenko T., Koleda A., Shesterikov E., Kulinich I., Kokolov A. An Optical Measuring Transducer for a Micro-Opto-Electro-Mechanical Micro-g Accelerometer Based on the Optical Tunneling Effect. Micromachines. 2023;14(4):802. https://doi.org/10.3390/mi14040802Barbin E., Nesterenko T., Koleda A., Shesterikov E., Kulinich I., Kokolov A. An Optical Measuring Transducer for a MicroOpto-Electro-Mechanical Micro-g Accelerometer Based on the Optical Tunneling Effect. Micromachines. 2023;14(4):802. https://doi.org/10.3390/mi14040802Бусурин В.И., Казарьян А.В., Штек С.Г., Жеглов М.А., Васецкий С.О., Чжи П.Л. Рамочный микрооптоэлектромеханический преобразователь угловой скорости с узлами оптического считывания на основе оптического туннельного эффекта. Измерительная техника. 2022;5:50–55. https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2022-5-50-55Busurin V.I., Kazaryan A.V., Shtek S.G., Zheglov M.A., Vasetskiy S.O., Ky P.L. Frame microoptoelectromechanical angular velocity transducer with optical readout units based on optical tunneling effect. Izmeritel’naya Tekhnika. 2022;5:50–55 (in Russ.). https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2022-5-50-55Бусурин В.И., Васецкий С.О., Штек С.Г., Жеглов М.А. Микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости: пат. 2790042 RF. Заявка № 2022129761; заявл. 16.11.2022; опубл. 14.02.2023.Busurin V.I., Vasetskii S.O., Shtek S.G., Zheglov M.A. Micro-optoelectromechanical Angular Velocity Sensor: RF Pat. 2790042. Publ. 14.02.2023 (in Russ.).Barbin E., Nesterenko T., Koleda A., Shesterikov E., Kulinich I., Kokolov A., Perin A. The Design, Modeling and Experimental Investigation of a Micro-G Microoptoelectromechanical Accelerometer with an Optical Tunneling Measuring Transducer. Sensors. 2024;24(3):765. https://doi.org/10.3390/s24030765Barbin E., NesterenkoT., KoledaA., Shesterikov E., Kulinich I., KokolovA., PerinA. The Design, Modeling and Experimental Investigation of a Micro-G Microoptoelectromechanical Accelerometer with an Optical Tunneling Measuring Transducer. Sensors. 2024;24(3):765. https://doi.org/10.3390/s24030765Shtek S.G., Zheglov M.A., Belyakov V.V., Andreasyan O.G., Vasetskiy S.O., Kuznetsov P.S. Development of a Sensitive Element of a Micro-Opto-Electromechanical Accelerometer. In: 2023 30th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems (ICINS). https://doi.org/10.23919/ICINS51816.2023.10168511Shtek S.G., Zheglov M.A., Belyakov V.V., Andreasyan O.G., Vasetskiy S.O., Kuznetsov P.S. Development of a Sensitive Element of a Micro-Opto-Electromechanical Accelerometer. In: 2023 30th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems (ICINS). https://doi.org/10.23919/ICINS51816.2023.10168511Шмидт С.П., Иванов В.В. Перспективы создания и развития полностью оптического компьютера. Инновационная наука. 2015;8-2(8):83–85.Schmidt S.P., Ivanov V.V. Prospects for the creation and development of a fully optical computer. Innovatsionnaya nauka = Innovative Science. 2015;8-2(8):83–85 (in Russ.).Молодяков С.А. Оптоэлектронные процессоры с ПЗС-фотоприемниками. Конвейерная обработка сигналов. Информационно-управляющие системы. 2008;6:2–8.Molodyakov S.A. Optoelectronic processors with CCD photodetectors. Pipeline signal processing. Informatsionnoupravlyayushchie sistemy = Information and Control systems. 2008;6:2–8 (in Russ.).Степаненко С.А. Фотонный компьютер: структура и алгоритмы, оценка параметров. Фотоника. 2017;7(67):72–83. https://doi.org/10.22184/1993-7296.2017.67.7.72.83Stepanenko S.A. Photonic computer: Structure and algorithms. Estimations of parameters. Fotonika = Photonics. 2017;7(67):72–3 (in Russ.). https://doi.org/10.22184/1993-7296.2017.67.7.72.83Умарова У.Б. Оптические компьютеры и их достоинства. В сб.: Современные инструментальные системы, информационные технологии и инновации: сборник научных трудов XI Международной научно-практической конференции: в 4-х т. Курск: ЗАО «Университетская книга»; 2014. С. 219–220.Umarova U.B. Optical computers and their advantages. In: Sovremennye instrumental’nye sistemy, informatsionnye tekhnologii i innovatsii (Modern Instrumental Systems, Information Technologies and Innovations). Collection of Scientific Papers of the 11th International Scientific and Practical Conference: in 4 v. Kursk: Universitetskaya kniga; 2014. P. 219–220 (in Russ.).Гордеев А., Войтович В., Святец Г. Перспективные фотонные и фононные отечественные технологии для терагерцовых микропроцессоров, ОЗУ и интерфейса со сверхнизким энергопотреблением. Современная электроника. 2022;2:65–72.Gordeev A., Voitovich V., Svyatets G. Promising photonic and phonon domestic technologies for terahertz microprocessors, RAM and interface with ultra-low power consumption. Sovremennaya elektronika = Modern Electronics. 2022;2:65–72 (in Russ.).Rawat U., Anderson J.D., Weinstein D. Design and Applications of Integrated Transducers in Commercial CMOS Technology. Front. Mech. Eng. 2022;8:902421. https://doi.org/10.3389/fmech.2022.902421Rawat U., Anderson J.D., Weinstein D. Design and Applications of Integrated Transducers in Commercial CMOS Technology. Front. Mech. Eng. 2022;8:902421. https://doi.org/10.3389/fmech.2022.902421Таишев С.Р., Крайнова К.Ю. Оптимизация условий поляризации в наноразмерных сегнетоэлектриках с целью дальнейшего применения в датчиках и МЭМС. Молодой ученый. 2016;1(105):224–227.Taishev S.R., Krainova K.Yu. Optimization of polarization conditions in nanoscale ferroelectrics for further application in sensors and MEMS. Molodoi uchenyi = Young Scientist. 2016;1(105):224–227 (in Russ.).Воротилов К.А., Мухортов В.М., Сигов А.С. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства. М.: Энергоатомиздат; 2011. 175 с.Vorotilov K.A., Mukhortov V.M., Sigov A.S. Integrirovannye segnetoelektricheskie ustroistva (Integrated Ferroelectric Devices). Moscow: Energoatomizdat; 2011. 175 p. (in Russ.).Li S., Wang Y., Yang M., et al. Ferroelectric thin films: performance modulation and application. Mater. Adv. 2022;3(14):5735–5752. https://doi.org/10.1039/D2MA00381CLi S., Wang Y., Yang M., et al. Ferroelectric thin films: performance modulation and application. Mater. Adv. 2022;3(14): 5735–5752. https://doi.org/10.1039/D2MA00381CTadigadapa S. Piezoelectric microelectromechanical systems – challenges and opportunities. Procedia Eng. 2010;5:468–471. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2010.09.148Tadigadapa S. Piezoelectric microelectromechanical systems – challenges and opportunities. Procedia Eng. 2010;5:468–471. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2010.09.148Мухортов В.М., Головко Ю.И., Бирюков С.В., Масычев С.И., Павленко А.В., Стрюков Д.В., Зинченко С.П., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н. Наноразмерные сегнетоэлектрические пленки – новая активная среда для микроэлектроники. Наука Юга России. 2022;18(4):33–43. https://doi.org/10.7868/S25000640220404Mukhortov V.M., Golovko Yu.I., Biryukov S.V., Masychev S.I., Pavlenko A.V., Stryukov D.V., Zinchenko S.P., Kovtun A.P., Tolmachev G.N. Nanoscale ferroelectric films – a new active medium for microelectronics. Nauka Yuga Rossii = Science in the South of Russia. 2022;18(4):33–43 (in Russ.). https://doi.org/10.7868/S25000640220404Физика сегнетоэлектриков: современный взгляд; под ред. Рабе К.М., Ана Ч.Г., Трискона Ж.М.: пер. с англ. М.: Лаборатория знаний; 2020. 443 с. ISBN 978-5-00101-827-8Rabe K.M., Ahn C.H., Triscone J.M. (Eds.). Fizika segnetoelektrikov: sovremennyi vzglyad (Physics of Ferroelectrics: A Modern Perspective): transl. from Engl. Moscow: Laboratoriya znanii; 2020. 443 p. (in Russ.). ISBN 978-5-00101-827-8 [Rabe K.M., Ahn C.H., Triscone J.M. (Eds.). Physics of Ferroelectrics. A Modern Perspective. Berlin, Heidelberg: Springer; 2007. 402 p.]Воротилов К.А., Сигов А.С., Романов А.А., Машевич П.Р. Формирование сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро- и наноэлектроники. Наноматериалы и наноструктуры – XXI век. 2010;1(1):45–53.Vorotilov K.A., Sigov A.S., Romanov A.A., Mashevich P.R. Nanomaterials and structures in electronics. Nanomaterialy i nanostruktury – 21 vek = Nanomaterials and Nanostructures – 21st Century. 2010;1(1):45–53 (in Russ.).

The authors declare that there are no conflicts of interest present.